簡要描述：193nm激光器 準分子加工系統產品特點：
全部實現風冷，無需水冷；
結構緊湊，脈沖頻率高，Z高重復頻率到1kHz；
全新技術金屬-陶瓷腔體；
光束均勻性好
集成的真空泵和鹵素濾光片
激光頭體積<3L
提供能量穩定模式，保證能量穩定輸出；

ATLEX-300-I 參數

氣體介質

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

單位

波長

157

193

248

308

351

nm

高壓開關技術

固態開關

zui大脈沖能量¹

1

10

15

8

7

mJ

zui大平均功率

0.2

2.4

4.0

2.0

1.7

W

zui大重復頻率

300

Hz

脈寬²

5-8

ns

光斑尺寸（V*H）

4*6

mm

光束發散角（V*H）

1*2

mrad

能量穩定性

<3

%

尺寸（L*W*H）

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

ATLEX-500-I 參數

氣體介質

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

單位

波長

157

193

248

308

351

nm

高壓開關技術

固態開關

zui大脈沖能量¹

1

10

15

8

7

mJ

zui大平均功率

0.5

4.0

6.5

3.0

2.5

W

zui大重復頻率

500

Hz

脈寬²

5-8

ns

光斑尺寸（V*H）

4*6

mm

光束發散角（V*H）

1*2

mrad

能量穩定性

<3

%

尺寸（L*W*H）

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

ATLEX-1000-I 參數

氣體介質

ArF

KrF

單位

波長

193

248

nm

高壓開關技術

固態開關

zui大脈沖能量¹

10

15

mJ

zui大平均功率

4.0

6.5

W

zui大重復頻率

1000

Hz

脈寬²

5-8

ns

光斑尺寸（V*H）

4*6

mm

光束發散角（V*H）

1*2

mrad

能量穩定性

<3

%

尺寸（L*W*H）

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風冷

供電要求

230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

ATLEX-300-FBG 參數

氣體介質

ArF

KrF

單位

波長

193

248

nm

高壓開關技術

固態開關

zui大脈沖能量¹

10

15

mJ

zui大平均功率

2.4

4.0

W

空間相關性(垂直方向)

>300

>300

um

zui大重復頻率

300

Hz

脈寬²

5-8

ns

光斑尺寸（V*H）

4*6

mm

光束發散角（V*H）

1*2

mrad

能量穩定性

<3

%

尺寸（L*W*H）

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

ATLEX-500-FBG 參數

氣體介質

ArF

KrF

單位

波長

193

248

nm

高壓開關技術

固態開關

zui大脈沖能量¹

10

15

mJ

zui大平均功率

4.0

6.5

W

空間相關性(垂直方向)

>300

>300

um

zui大重復頻率

500

Hz

脈寬²

5-8

ns

光斑尺寸（V*H）

4*6

mm

光束發散角（V*H）

1*2

mrad

能量穩定性

<3

%

尺寸（L*W*H）

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

ATLEX-LR 參數

氣體介質

ArF

單位

波長

193

nm

zui大脈沖能量¹

12

mJ

zui大穩定輸出能量

10

mJ

脈寬²

5

Ns

光斑尺寸（V*H）

4*6

mm

光束發散角（V*H）

1*2

mrad

能量穩定性

<2

%

尺寸（L*W*H）

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz